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由清华大学材料科学与工程系承担的“光化学蚀刻成型技术”项目近日通过了教育部组织的成果鉴定。该成果对微电子封装中的关键高技术之一“光化学蚀刻成型技术”进行了系统研究。
清华大学光化学蚀刻成型技术新进展
【摘 要】
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由清华大学材料科学与工程系承担的“光化学蚀刻成型技术”项目近日通过了教育部组织的成果鉴定。该成果对微电子封装中的关键高技术之一“光化学蚀刻成型技术”进行了系统研
【出 处】
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中国高校科技与产业化
【发表日期】
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2002年10期
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