【摘 要】
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随着生产和科学技术的发展,精密测量仪器急骤增多,它们所附带的作为标准件的球形测头检测问题,日益变得迫切而提到日程上来。例如,国内外出产的各种型号大工显、万工显、测
【机 构】
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辽宁省计量测试所,辽宁省计量测试所,
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随着生产和科学技术的发展,精密测量仪器急骤增多,它们所附带的作为标准件的球形测头检测问题,日益变得迫切而提到日程上来。例如,国内外出产的各种型号大工显、万工显、测长仪以及国产孔径测量仪等都附有球形测头,其球径鉴定精度均在±0.5微米以内。鉴于目前缺少专用高精度仪器情况下,利用测光洁度用的双光束干涉显微镜把
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