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螺旋波激发等离子体源的原理和应用
螺旋波激发等离子体源的原理和应用
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yluylu2k
【摘 要】
:
介绍了一种低气压,高密度等离子体源-螺旋波激发等离子体源,讲述了它的结构位形,该离子源在实际中的应用以及目前研究状况。
【作 者】
:
房同珍
【机 构】
:
中国科学院物理研究所
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
螺旋波
等离子体
天线耦合
HWP
结构原理
helicon wave
plasma source
antenna coupling
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介绍了一种低气压,高密度等离子体源-螺旋波激发等离子体源,讲述了它的结构位形,该离子源在实际中的应用以及目前研究状况。
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