基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究

• 作 者: 张义川 缪旻 方孺牛 唐小平 卢会湘 严英占 金玉丰
• 机 构: 北京信息科技大学信息微系统研究所,北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,中国电子科技集团公司第五十四研究所
• 出 处: 传感技术学报
• 发表日期: 2016年4期
• 关键词: 低温共烧陶瓷 加速度计 微机械加工 三维集成 微系统 accelerometer ceramic micromachining three-dimensiona
• 基金项目: 国家自然科学基金项目（61176102,60976083,60501007,61404119）, 北京市属高等学校高层次人才引进与培养计划项目（CIT＆TCD20150320）, 北京市自然科学基金项目（3102014）

低温共烧陶瓷（LTCC）技术是实现电子设备小型化、高密度集成化的主流封装/组装集成技术,可适用于耐高温、耐受恶劣环境下的特性要求。报道了以LTCC为结构材料设计、制作的一种MEMS差分电容式加速度计。该器件的敏感质量、4根悬臂梁结构都内嵌于LTCC多层基板,质量块和上下盖板之间通过印刷电极组成差分电容对;高精度电容检测芯片表贴于LTCC基板表面,将差分电容信号转化为电压信号。论文讨论了微机械LTCC加速度计的设计与制备、检测电路和性能测试。LTCC的高密度多层布线减小了互连线的长度和相关耦合寄生电容;基于