论文部分内容阅读
报道了用氟利昂ＣＨＦ３和氩气Ａｒ作工作气体的反应离子刻蚀融英石的技术。研究了气体流速、腔压和射频等离子体功率对刻蚀速度的影响，并分析了刻蚀工艺对样品表面的污染，同时也考察了刻蚀工艺的均匀性和重复性。为了优化刻蚀工艺，采用Ｒａｌ／Ｄｉｓｃｏｖｅｒ软件工具设计优化实验。实验中射频等离子体功率范围在１２０￣１６０，氩气和氟利昂流速分别在１５￣３５ｓｃｃｍ（１ｃｍ＾３／ｍｉｎ ｓｔａｎｄａｒｄ ｃｕｂｉｃ