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【摘 要】
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To describe a semiconductor wafer fabrication flow availably, a new modeling method of extended hybrid Petri nets (EHPNs) was proposed. To model the discrete pa
【机 构】
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School of Mechanical Engineering Shanghai Jiaotong University,School of Mechanical Engineering,Shang
【出 处】
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Journal of Central South University of Technology
【发表日期】
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2007年03期
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