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在电场理论中电轴法的基础上 ,导出了局部场域的电容计算式 ,为电容传感器在精密测量中的应用提供了理论依据 ,这为经典的电轴法开辟了新的应用领域并给出了几种粗糙度等级的被测表面的近似值与精确计算结果的对比。
电轴法在超精密电容式传感器中的应用
【摘 要】
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在电场理论中电轴法的基础上 ,导出了局部场域的电容计算式 ,为电容传感器在精密测量中的应用提供了理论依据 ,这为经典的电轴法开辟了新的应用领域并给出了几种粗糙度等级的被测表面的近似值与精确计算结果的对比。
【机 构】
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天津大学精密测试及仪器国家重点实验室
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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2000年04期
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