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多元合金化是强化ＴｉＮ膜的有效途径之一，也是目前研究的热点。本文介绍了几种多元氮化物薄膜的沉积技术及性能特点，重点分析了性能对工艺的依赖关系。
TiN薄膜的多元合金化强化
【摘 要】
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多元合金化是强化ＴｉＮ膜的有效途径之一，也是目前研究的热点。本文介绍了几种多元氮化物薄膜的沉积技术及性能特点，重点分析了性能对工艺的依赖关系。
【机 构】
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华南理工大学机械电子工程系,广东工业大学材料科学与工程系
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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2000年4期
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