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这种由美国Varian公司研制的Extrion 500注入机能量高达750keV,打破了原来中束流离子注入能量不超过200keV的界限。这种机器可用作高能离子注入,能满足更多的工艺需求,是一种提高下一代设备投资效率的新途径。
中束流高能离子注入机Extrion500
【摘 要】
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这种由美国Varian公司研制的Extrion 500注入机能量高达750keV,打破了原来中束流离子注入能量不超过200keV的界限。这种机器可用作高能离子注入,能满足更多的工艺需求,是一种
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1992年3期
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