五分量激光测量装置的试验研究

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所讨论的激光测量装置,可以同时测量一个移动轴的5个移动误差分量,即两个直线度分量和3个角位移分量。该装置测量线性误差和角位移误差的精度可分别达到1.5μm和0.5”以内。 The laser measuring device in question can measure five movement error components of a moving axis, namely two straightness components and three angular displacement components simultaneously. The accuracy of the device for measuring linear and angular misalignment can be within 1.5μm and 0.5 "respectively.
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