【摘 要】
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文章介绍了AZO/N+-Si欧姆接触特性的研究和AZO/N+-Si欧姆接触的制备新方法。实验发现AZO/N+-Si的退火温度和时间对其欧姆接触特性有很大的影响,在最优的退火温度和时间条件下
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文章介绍了AZO/N+-Si欧姆接触特性的研究和AZO/N+-Si欧姆接触的制备新方法。实验发现AZO/N+-Si的退火温度和时间对其欧姆接触特性有很大的影响,在最优的退火温度和时间条件下,测得最小比接触电阻为7.32×10-4Ω.cm2。它满足多晶硅太阳能电池的要求,可用于高效率硅太阳能电池透明电极的制备。
The article introduces the research on the ohmic contact characteristics of AZO / N + -Si and the new method of preparing AZO / N + -Si ohmic contacts. It was found that the annealing temperature and time of AZO / N + -Si had a great influence on the ohmic contact characteristics. Under the optimal annealing temperature and time conditions, the minimum specific contact resistance was 7.32 × 10-4Ω.cm2. It meets the requirements of polycrystalline silicon solar cells, can be used for the preparation of high efficiency silicon solar cells transparent electrodes.
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