新一代芯片绝缘体号称性能超越氮化硅

来源 :半导体信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhengrs_2009
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IBM发表了新型绝缘体材料配方,号称能有效提升先进制程芯片性能与良率。IBM在近日于美国硅谷举行的年度IEEE国际可靠度物理研讨会(International Reliability Physics Symposium,IRPS)上发表了新型绝缘体,该种材料有 IBM released a new insulator material formulation, claiming to effectively improve advanced process chip performance and yield. IBM recently announced a new insulator at the International Reliability Physics Symposium (IRPS) in Silicon Valley, USA, which has
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