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【摘 要】
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具有世界领先水平、完全属于自主知识产权的国内第一台直写式“光刻机”将于今年12月诞生合肥。记者从落户合肥经济开发区的芯硕半导体（合肥）有限公司获悉，该公司生产的两台直写
【出 处】
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合肥科技
【发表日期】
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2007年10期
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