双源气溶胶辅助化学气相沉积制备AZO薄膜

• 作 者: 秦秀娟 王晓娟 张丽茜 王丽欣 柳林杰
• 机 构: 燕山大学环境与化学工程学院,燕山大学河北省应用化学重点实验室
• 出 处: 燕山大学学报
• 发表日期: 2016年2期
• 关键词: 气溶胶辅助化学气相沉积法 掺杂 AZO薄膜 aerosol-assisted chemical vapor deposition method dope A

采用双源气溶胶辅助化学气相沉积法制备了Al掺杂ZnO薄膜。研究了不同的乙醇和甲醇溶液比例对AZO薄膜各种性能的影响。通过紫外一可见光吸收光谱、原子力显微镜、扫描电子显微镜和X射线衍射对薄膜性能进行表征。结果表明通过使用双源AACVD法可以获得具有明显（002）择优取向AZO薄膜，并且在15mL乙醇和20mL甲醇时具有最佳的结晶性能．同时具有最优的光电学性能。不同乙醇和甲醇比例下薄膜的形貌不同。