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微电子级多晶硅生产工艺要求原料要在“无油、无水、无尘”的环境下运行，系统洁净度要求高。络合清洗过程就是利用有机化合物在一定的浓度和温度下，通过和金属表面的油脂、铁屑、氧化物、化学残留物等反应，生成可溶性的化合物。
多晶硅工艺管道及设备络合清洗
【摘 要】
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微电子级多晶硅生产工艺要求原料要在“无油、无水、无尘”的环境下运行，系统洁净度要求高。络合清洗过程就是利用有机化合物在一定的浓度和温度下，通过和金属表面的油脂、铁屑
【机 构】
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陕西建工集团设备安装工程有限公司第一分公司
【出 处】
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安装
【发表日期】
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2013年2期
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