【摘 要】
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采用辉光放电质谱法 (GDMS) 分析超高纯铝样品 (含铝量≥99.9995％) 中B, Mg, Si, P, Cl, Ti等44种主要杂质元素, 并且与电感耦合等离子体质谱法 (ICPM S) 进行对比, 主要杂质
【机 构】
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浙江大学,杭州 310000;宁波江丰电子材料股份有限公司,宁波 315400;宁波江丰电子材料股份有限公司,宁波,315400;浙江大学,杭州,310000
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采用辉光放电质谱法 (GDMS) 分析超高纯铝样品 (含铝量≥99.9995％) 中B, Mg, Si, P, Cl, Ti等44种主要杂质元素, 并且与电感耦合等离子体质谱法 (ICPM S) 进行对比, 主要杂质元素含量检测结果一致.本工作对质谱干扰的排除和预溅射过程时间的确定进行了讨论, 采用高纯铝标样对高纯铝中26种主要元素相对灵敏度因子 (RSF) 进行校正和验证, 并考察了检测结果的准确性和精密度.结果表明, GDMS是超高纯铝样品直接测定的最有效手段之一.“,”In ultra-high purity aluminum, 44 trace impurity elements such as B, Mg, Si, P, Cl, Ti were determined by glow discharge mass spectrometry (GDMS). The results are consistent with those analyzed by inductive coupled plasma mass spectrometry (ICPMS). The pre-sputtering time and elimination of the influence of spectral interference were discussed in detail. The RSFs of 26 main trace impurity elements were calibrated by aluminum standard samples. The result with good precision and accuracy was obtained. It is found that GDMS is one of the most effective method which has sufficient sensitivity on the measurement of ultra-high purity aluminum.
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