【摘 要】
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本文介绍一种专门为俄歇电子能谱仪而研制的新型氩离子枪。由于离子源的合理设计、引出透镜系统的改进及其同主聚焦透镜的良好匹配,所以取得了较好的实测结果。当加速电压为2
【机 构】
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兰州物理研究所,兰州物理研究所,中国科学院沈阳科学仪器厂,中国科学院沈阳科学仪器厂,
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本文介绍一种专门为俄歇电子能谱仪而研制的新型氩离子枪。由于离子源的合理设计、引出透镜系统的改进及其同主聚焦透镜的良好匹配,所以取得了较好的实测结果。当加速电压为2KV、电离电子流(即阴极发射电流)为50mA及工作压强为3.4×10~(-5)托时,在距枪口30毫米处的离子束流密度为350μA/cm~2。经过在俄歇电子能谱仪和分子束外延装置中的长时间考验,证明该氩离子枪的性能是良好的,使用和维修也很方便,能够很好地满足实用要求。
This article presents a new argon ion gun specifically developed for Auger electron spectroscopy. Due to the reasonable design of the ion source, the improvement of the lead-out lens system and its good match with the main focusing lens, good results have been obtained. When the accelerating voltage is 2KV, the ionization electron current (cathode emission current) is 50mA and the operating pressure is 3.4 × 10 ~ (-5) Torr, the ion beam current density at the distance of 30mm from the muzzle is 350μA / cm ~ 2 . After a long test in Auger electron spectroscopy and molecular beam epitaxy, the performance of the argon ion gun is proved to be good, and the use and maintenance are also very convenient, which can well meet the practical requirements.
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