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由于分布电容的存在而造成对仪器的干扰，使得对射频放电电压电流及相位的测量，到目前为止仍然是比较困难和昂贵的；使用简单的电压电流探头而无干扰地精确地测量出电压、电流和相位角，从而计算出复合阻抗几乎是不可能的。这里介绍一种自行研制的传感器，结合网络分析理论，采用数字与计算机技术实现对射频放电电压、电流及相位角精确的测量，经实际使用精度高，抗干扰能力强，价格低廉。