【摘 要】
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对楔形腔光场传输模式进行对比分析,改变MEMS工艺参数,加工出楔角外侧下边缘带有＂齿＂的10°楔角楔形腔;设计光纤架与壳体,采用力学咬合的方式,对锥形光纤耦合位置进行固定,
【机 构】
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中北大学电子测试技术国防科技重点实验室和仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金重点项目（91123036）,国家自然科学基金科学仪器基础研究（61127008）,国家自然科学基金（91123016）, 国家杰出青年科学基金（51225504）, 国家重点基础研究发展计划（2012CB723404）, 山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划资助
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对楔形腔光场传输模式进行对比分析,改变MEMS工艺参数,加工出楔角外侧下边缘带有＂齿＂的10°楔角楔形腔;设计光纤架与壳体,采用力学咬合的方式,对锥形光纤耦合位置进行固定,实现力学无胶封装,消除了封装材料性能退化对倏逝场产生的破坏,获得了稳定的倏逝场耦合模式,进而得到稳定的高品质因数（Q）;封装前后楔形腔倏逝场耦合模式改变微小,Q值不随时间产生退化。使用高速转台对封装结构进行稳定性测试,5g离心转动前后,楔形腔与锥形光纤耦合位置不变。
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