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用于图像传感器制造的光刻技术
用于图像传感器制造的光刻技术
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:david_jts
【摘 要】
:
引言任何一种数字成像的核心都是图像传感器。它的基本结构包括一个能把光转换为图像的有源像素矩阵。数码相机和带相机的移动电话带动了图像传感器需求市场的快速增长,它们已
【作 者】
:
Geoffrey Phillipps Rudy Pellen
【机 构】
:
ASMLNetherlandsB.V
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
图像传感器
制造商
光刻技术
数码相机
数字成像
像素矩阵
需求市场
光转换
【基金项目】
:
致谢 清华大学微电子学研究所的朱钧教授指导了本文的审译.作者在此特别致谢.
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引言任何一种数字成像的核心都是图像传感器。它的基本结构包括一个能把光转换为图像的有源像素矩阵。数码相机和带相机的移动电话带动了图像传感器需求市场的快速增长,它们已成为主要IC制造商大量生产的产品之一。
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