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澳大利亚正研制电子束曝光系统
澳大利亚正研制电子束曝光系统
来源 :纳米科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:toughlee
【摘 要】
:
澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统(EBL)。该系统可标记纳米级的物体,还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
【出 处】
:
纳米科技
【发表日期】
:
2009年5期
【关键词】
:
电子束曝光系统
澳大利亚
纳米设备
研究人员
纳米级
蚀刻
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澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统(EBL)。该系统可标记纳米级的物体,还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
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