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类金刚石膜(Diamond Like Carbon)因其优异的物理和化学性能,如高红外透过率,高硬度,低摩擦系数,高耐腐蚀性,高电阻率,高导热率,高化学稳定性等,被科学界誉为二十一世纪的全能材料.本文通过对一起掉膜成因的定性分析,利用等离子体的基本特性,将放电区域内的基片的工作状态等效为电路,根据欧姆定律及类金刚石的成膜原理,探索性的建立了“边界扰动”的概念.