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【摘 要】
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以实验数据为基础，运用人工神经网络方法，建立了电子回旋共振等离子体化学气相沉积（ＥＣＲ Ｐｌａｓｍａ ＣＶＤ）淀积硅的氮、氧化物介质膜的折射率、速率与气流配比Ｑ（Ｎ２）／Ｑ（ＳｉＨ４）和Ｑ（Ｏ２）／Ｑ（ＳｉＨ４）关系的数学模型，此模型在给定气流配
【机 构】
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中国科学院半导体研究所工程中心
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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863资助项目!307－15－3(08)
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