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阐述了微波等离子化学气相沉积方法合成金刚石薄膜的生长规律，并对薄膜品质作了分析，指出加强基板预处理，提高工艺参数控制精度是决定薄膜品质的关键因素。
微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律及薄膜品质分析
【摘 要】
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阐述了微波等离子化学气相沉积方法合成金刚石薄膜的生长规律，并对薄膜品质作了分析，指出加强基板预处理，提高工艺参数控制精度是决定薄膜品质的关键因素。
【机 构】
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郑州纺织工学院基础部,郑州纺织工学院电气系
【出 处】
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郑州纺织工学院学报
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国家863 计划新材料领 域功能薄膜材料项目
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