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蓝宝石是生长ＧａＮ材料最常用的衬底，本文研究了Ｈ２ＳＯ４和Ｈ３ＰＯ４的混合酸液的混度、混合酸的比例以及腐蚀时间对蓝宝石腐蚀速率的影响。
用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究
【摘 要】
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蓝宝石是生长ＧａＮ材料最常用的衬底，本文研究了Ｈ２ＳＯ４和Ｈ３ＰＯ４的混合酸液的混度、混合酸的比例以及腐蚀时间对蓝宝石腐蚀速率的影响。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年11期
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