【摘 要】
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考虑环境的影响,无铅材料在微机系统中的应用是微器件的一种趋势。本文建立一个包含多层的无铅压电薄膜微致动器的悬臂梁理论模型和有限元模型,利用理论模型来模拟该微致动器
【机 构】
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湖南高尔夫旅游职业学院,长沙医学院
【基金项目】
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2018年湖南省教育厅科学研究项目立项项目,项目名称:NBT-KBT100x压电薄膜悬臂梁致动器性能研究,项目编号:18C1300
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考虑环境的影响,无铅材料在微机系统中的应用是微器件的一种趋势。本文建立一个包含多层的无铅压电薄膜微致动器的悬臂梁理论模型和有限元模型,利用理论模型来模拟该微致动器第一模态的动态致动性能,同时利用有限元模型来验证理论模型的正确性。并且通过模拟可知,微悬臂梁致动器的谐振频率随着梁长的变化而降低;挠度随着外加电压的增加而增大。
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