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【摘 要】
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利用微波等离子体化学气相沉积法,以甲烷、氢气和氩气作为工作气体,在较低的沉积温度下,沉积得到了连续的金刚石薄膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪分别对金
【机 构】
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武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2016年5期
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