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辉光离子氮化炉,是一种按稀薄气体辉光放电特性原理设计制造的新型热处理设备。设备的工作室是一个密封炉体,外壳为阳极,工件为阴极（工件放置在阴极板上）。工作时,先将炉内真空度抽至工作真空度0.5～8托(极限真空度应不低于5×10-2托),然后,接通幅值可达1000V 的连续可调直流电压。在电场力的作用下,通入炉内的微量氨气被电离成正离子