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在液晶屏的生产过程中,玻璃基板的清洁度直接影响到最终的良品率,现在的玻璃基板清洁主要是用超声波干式清洗。本文介绍了组成超声波干式清洗机的几大主要组成部分:升降、传送、测厚、VCR、清洗、破片、整形。通过介绍三菱通信模块QJ61BT11N、串口通讯模块QJ71C24N与运动控制模块QD77MS4实现的功能,完成了设备内部的CC-Link通信、PLC与VCR读码系统的通信以及电机的控制,并且给出了控制VCR和电机的部分程序。