铜抛光液的电化学行为研究

• 作 者: 李秀娟 郭东明 康仁科 金洙吉
• 机 构: 华东政法学院知识产权学院,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
• 出 处: 哈尔滨工业大学学报
• 发表日期: 2008年7期
• 关键词: 化学机械抛光 电化学 交流阻抗谱 电极过程
• 基金项目: 国家自然科学基金重大项目资助(50390061)

为分析用于超大规模集成电路（ULSI）中铜化学机械抛光（CMP）所使用抛光液的添加剂对铜硅片的氧化、溶解和腐蚀抑制行为,以双氧水为氧化剂,柠檬酸为络合剂,苯丙三唑（BTA）为腐蚀抑制剂,在pH5的条件下进行抛光液的电化学行为研究.测试了铜在抛光液中的极化曲线、交流阻抗谱以及静腐蚀量.试验结果表明：添加络合剂柠檬酸降低了原来处于钝化状态下的铜抛光液系统的阻抗;加入缓蚀剂BTA后,Cu-H2O2-Citric acid-BTA系统的交流阻抗值增大.测试到的Cu-H2O2-Citric acid系统由于存在铜的