论文部分内容阅读
微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器（PSD）的微位移传感器的关键技术。分析了电流一电压转换原理，指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压。应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路，实现了微弱电流信号的提取。传感器工作距离为10min，测量范围为±0.5min，采用精度为±0．5μm的装置驱动钢板进行微位移测量，实验数据表明：传感器分辨力为±0．5μm，检测精度为±2％。