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利用Monte Carlo方法模拟了薄膜的二维和三维生长，引入Monte作用势描述了粒子间的相互作用，并根据势中的作用范围α详细考虑了近邻粒子的影响，研究发现，在二维生长中各粒子团生长过程曲线存在多重线性分布，且在某一阶段各分布直线满足二分角关系，三维模拟结果表明，随着沉积粒子数的增加，成团粒子数所占百分比下降，这与二维结果相符。