【摘 要】
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本文设计了一种基于银-铝-银复合膜层结构的金属亚波长缝-槽结构。该结构由亚波长狭缝和周期性沟槽组成,在632.8nm波长下,可实现远场的高方向性辐射。文中用有限元法分析了狭
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,中国科学院大学
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本文设计了一种基于银-铝-银复合膜层结构的金属亚波长缝-槽结构。该结构由亚波长狭缝和周期性沟槽组成,在632.8nm波长下,可实现远场的高方向性辐射。文中用有限元法分析了狭缝宽度、沟槽深度和沟槽周期对出射光高方向辐射特性的影响,并据此优化得到了器件的结构参数。使用搭建的光学远场测试平台对该缝-槽结构进行测试发现,结构的远场发散角约为4.1,测量结果与仿真结果基本吻合,进一步证实结构的远场高方向性辐射特性。
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