【摘 要】
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本文较详细地介绍了制作半导体三维集成电路的三种方法,即回熔再结晶法、叠层法和异质绝缘层法。此外,对三维集成的其它方法还做了扼要的说明。
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本文较详细地介绍了制作半导体三维集成电路的三种方法,即回熔再结晶法、叠层法和异质绝缘层法。此外,对三维集成的其它方法还做了扼要的说明。
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