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X光光学近年来有极大的发展,其重要原因是多层膜软X光反射镜的研制成功。这种反射镜,一般用物理汽相淀积方法蒸镀无机材料而得的多层结构。我们采用真空镀膜与LB薄膜技术相结合的方法成功地制备了一些无机材料与有机材料交替的多层结构,证明了它们具有厚度精确易控、吸收少、界面光滑及反射率高等优点。
真空镀膜与LB薄膜技术相结合制备多层膜软X光反射镜
【摘 要】
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X光光学近年来有极大的发展,其重要原因是多层膜软X光反射镜的研制成功。这种反射镜,一般用物理汽相淀积方法蒸镀无机材料而得的多层结构。我们采用真空镀膜与LB薄膜技术相结
【机 构】
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复旦大学物理系,复旦大学物理系
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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1991年2期
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