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本文介绍了一种新型三维光栅传感器式牵引测头的原理及其应用。3个相互垂直的轴作线性位移,有效行程±5mm,测量分辨率2μm。详细地分析了测头的静态误差和动态误差,并给出实验结果。这种测头具有测量效率高、实现自由曲面测量及提高坐标测量设备的自动化程度等优点。
一种三维光栅传感器式牵引测头的研制及分析
【摘 要】
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本文介绍了一种新型三维光栅传感器式牵引测头的原理及其应用。3个相互垂直的轴作线性位移,有效行程±5mm,测量分辨率2μm。详细地分析了测头的静态误差和动态误差,并给出实验结果。这种测头具有测量效率高、实现自由曲面测量及提高坐标测量设备的自动化程度等优点。
【机 构】
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航空航天部三○三研究所,航空航天部三○三研究所北京,北京
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1992年04期
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