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利用CH4/O2混合气体等离子体对聚四氟乙烯(PTFE)进行表面改性,利用角发辨XPS和接触角对改性效果进行表征。结果表明:CH4/O2混合气体等离子体处理,在一定条件下可较好地改善PTFE的表面亲水性。对等离子体处理机理进行了探讨,认为在处理过程中存在相互影响的聚合、刻蚀和氧化作用,而O2等离子体的刻蚀作用对PTFE的表面亲水改性起着不良的影响。