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【摘 要】
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金属等离子体浸没离子植入和沉积（ＭｅＰＩＩＩＤ）是一项将阴极电弧沉积和等离子体浸没离子植入结合起来的混合工艺。本文评述了由真空电弧产生的金属等离子体的性能，并讨论了ＭｅＰＩＩＩＤ的结果。描述了各
【出 处】
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国外核聚变与等离子体应用
【发表日期】
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1999年2期
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