【摘 要】
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这里介绍一种新的电子能量分析器-板筒复合镜电子能量分析器(PCMA),与目前通用的筒镜分析器CMA一样,具有二级聚焦和传输率高的优点。PCMA的主要特点是从电子源(样品)发射出
【机 构】
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中国科学院科学仪器厂,中国科学院科学仪器厂 美国Kentucky大学物理及天文系
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这里介绍一种新的电子能量分析器-板筒复合镜电子能量分析器(PCMA),与目前通用的筒镜分析器CMA一样,具有二级聚焦和传输率高的优点。PCMA的主要特点是从电子源(样品)发射出来的喷射状锥形电子束通过弯曲的轨道重新会聚到样品背后的轴上。因此在用于扫描电镜SEM中作Auger电子能量分析时,与利用一般的非同轴电子枪CMA相比可以
Here introduce a new electronic energy analyzer - plate and tube composite mirror electronic energy analyzer (PCMA), with the current general cylindrical mirror analyzer CMA, with two-stage focusing and high transmission rate advantages. The main feature of PCMA is that the jet-like conical electron beam emanating from the electron source (sample) re-converges on the axis behind the sample through the curved track. Therefore, when used for Auger electron energy analysis in a scanning electron microscopy SEM, compared with the conventional non-coaxial electron gun CMA,
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