【摘 要】
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本文使用SOLGAS软件,对以三氯甲基硅烷为原料的等离子气相合成β—SiC超细陶瓷粉未的多相多组份系统进行了热力学平衡计算.在以氩氢及氮氢为等离子工作气和总压为1个大气压时
【机 构】
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中国科学院化工冶金研究所,中国科学院化工冶金研究所北京100080,北京100080
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本文使用SOLGAS软件,对以三氯甲基硅烷为原料的等离子气相合成β—SiC超细陶瓷粉未的多相多组份系统进行了热力学平衡计算.在以氩氢及氮氢为等离子工作气和总压为1个大气压时,计算了体系的参数对体系平衡组成的影响.计算结果表明,温度、摩尔比H_2/CH_3SiCl_3及N_2/CH_3SiCl_3都对体系有较大的影响.为了得到较纯净的碳化硅产品,需要严格控制体系的温度及各反应物的浓度等参数.对H_2—CH_3SiCl_3—Ar及H_2—CH_3SiCl_3—N_2体系,都存在一最佳温度,以此温度下可以得到最
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