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本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及实现多种相干度的部分相干光照明等关键问题,并介绍一种高均匀性照明光学系统的研制结果。
分步重复投影光刻机(DSW)照明光学系统的研制
【摘 要】
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本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及实现多种相干度的部分相干光照明等关键问题
【出 处】
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光学工程
【发表日期】
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1987年04期
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