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美国一大学首次在云母基片上实现无应力锗薄膜外延
美国一大学首次在云母基片上实现无应力锗薄膜外延
来源 :新材料产业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yjq888
【摘 要】
:
美国伦斯勒理工学院的研究人员开发出一种全新的范德华外延法,首次实现了在云母基片上的锗外延,有望应用于先进集成电路和高效太阳电池的制造。伦斯勒理工学院研究团队是全球首
【出 处】
:
新材料产业
【发表日期】
:
2017年12期
【关键词】
:
薄膜外延
基片
云母
应力
美国
大学
锗
半导体材料
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美国伦斯勒理工学院的研究人员开发出一种全新的范德华外延法,首次实现了在云母基片上的锗外延,有望应用于先进集成电路和高效太阳电池的制造。伦斯勒理工学院研究团队是全球首个在云母基片上实现元素半导体材料无应力范德华外延的研究团队。
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