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本文简单介绍了改良西门子法多晶硅生产工艺,着重介绍了氢化氯化装置的反应原理及工艺流程.
多晶硅生产氢化氯化工艺标准探析
【摘 要】
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本文简单介绍了改良西门子法多晶硅生产工艺,着重介绍了氢化氯化装置的反应原理及工艺流程.
【机 构】
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青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司,青海 西宁,810000
【出 处】
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中国石油和化工标准与质量
【发表日期】
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2016年15期
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