电真空器件用陶瓷二次金属化镀镍层起泡现象的研究

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陶瓷二次金属化镍层烧结后起泡是影响产品质量和合格率的一个主要因素,本文针对陶瓷的一次金属化和二次金属化工艺,经XPS、XRF、SEM等方法分析,得出:陶瓷的二次金属化起泡与其沉积层的基材和沉积层的厚度有关,陶瓷一次金属化烧结后钼的特殊形貌——钼颗粒较大、颗粒之间结合疏松和钼的电化学特性,决定钼上的沉积层厚度必须在合适范围内——4~9μm,才能减小沉积层中的应力,保证烧结后镍层与钼有良好的结合力。 After sintering secondary metal nickel layer foaming is one of the main factors affecting the product quality and pass rate. In this paper, for the primary and secondary metallization of ceramics, the XPS, XRF and SEM analysis results show that: The secondary metal foaming of the ceramic is related to the thickness of the substrate and the deposited layer of the deposited layer. The special morphology of the molybdenum after one-time ceramic sintering of the ceramic - the larger the molybdenum particles, the loose combination of the particles and the electrochemical characteristics of the molybdenum , The thickness of the deposited layer on molybdenum must be within the proper range - 4 ~ 9μm in order to reduce the stress in the deposited layer and ensure that the nickel layer and the molybdenum have a good binding force after sintering.
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