论文部分内容阅读
利用介孔材料MCM-41作为石英晶体微天平(QuartzCrystalMicro-Balance,QCM)质量型传感器的湿敏材料来构建湿度传感器。采用X-ray、SEM、BET等对样品的结构和形貌进行了表征和分析,并系统研究了其湿敏性能。结果表明,该湿度传感器具有湿度量程大(1%?100%RH)、灵敏度高、稳定性好、湿滞小、易于集成化等优点。