用于超分辨近场结构光盘存储的掩膜材料

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sheishei
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超分辨近场结构(Super—RENS)光盘存储技术是近年研究的热点,而用作超分辨近场结构的掩膜材料是决定其性能的关键。本文总结了用于近场超分辨结构光盘存储的掩膜材料的最新研究成果,阐述了材料的工作原理和性能特点,展望了其发展趋势。
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