【摘 要】
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以辐射度学为理论基础,研究了紫外ICCD(UV-ICCD)面的响应均匀性测试技术。论述了200~300nm UV-IOED面均匀性的测试方案。使用入射口径为100μm的光谱仪对UV-ICCD靶面处的均匀
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院,
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以辐射度学为理论基础,研究了紫外ICCD(UV-ICCD)面的响应均匀性测试技术。论述了200~300nm UV-IOED面均匀性的测试方案。使用入射口径为100μm的光谱仪对UV-ICCD靶面处的均匀性进行了测试。测试结果表明,靶面处辐照度场的不均匀性不高于1.6%。在对靶面处的均匀性进行测试的基础上,对UV-ICCD面的均匀性进行了实际测量,并进行了不确定度分析。结果表明,该方案可应用于UV-ICLD光电探测器件的面均匀性测量。
Based on the radiometric theory, the response uniformity test technique of UV ICCD (UV-ICCD) was studied. The test scheme of UV-IOED surface uniformity of 200 ~ 300nm was discussed. The uniformity of the UV-ICCD target surface was tested using a spectrometer with a 100 μm entrance diameter. The test results show that the uniformity of the irradiance field at the target surface is not higher than 1.6%. Based on the testing of the uniformity of the target surface, the uniformity of the UV-ICCD surface was measured and the uncertainty was analyzed. The results show that this scheme can be applied to the surface uniformity measurement of UV-ICLD photodetection devices.
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