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本文建立了通过二氧化硅层扩散到硅中的杂质浓度分布的数学模型。并通过对模型所归结的两个偏微分方程的定解问题的求解，到了在这种情况下杂质浓度分布规律的解析表达式。
通过二氧化硅层扩散到硅中的杂质浓度分布
【摘 要】
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本文建立了通过二氧化硅层扩散到硅中的杂质浓度分布的数学模型。并通过对模型所归结的两个偏微分方程的定解问题的求解，到了在这种情况下杂质浓度分布规律的解析表达式。
【机 构】
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云南师范大学数学系
【出 处】
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云南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1996年1期
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