【摘 要】
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一、引言离子束镀膜是利用从离子源引出的带能离子束,在无场的高真空(10~(-4)～10~(-5)托)环境中轰击所选择的靶材,溅射出二次原子,沉积在工件上成膜。离子束镀膜具有控制精确
【机 构】
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中国科学院空间科学技术中心,中国科学院空间科学技术中心
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一、引言离子束镀膜是利用从离子源引出的带能离子束,在无场的高真空(10~(-4)～10~(-5)托)环境中轰击所选择的靶材,溅射出二次原子,沉积在工件上成膜。离子束镀膜具有控制精确、成膜致密、结合力高、低温生长而且可以镀制任意材料膜的优点。为了进一步提高镀膜质量,开展离子束辅助沉积,我们设计了一台SSD-1型双离子束镀膜装置。
I. Introduction Ion beam coating is the use of ion beam derived from the ion source with ion beams in the field of high vacuum (10 ~ (-4) ~ 10 ~ (-5) Torr) the bombardment of the selected target environment, splashing Injection of secondary atoms, deposited on the workpiece film. Ion beam coating has the advantages of precise control, dense film formation, high bonding strength, low temperature growth and plating of any material film. In order to further improve the coating quality and carry out ion beam assisted deposition, we designed a SSD-1 dual ion beam coating device.
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