【摘 要】
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采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数。通过
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所 四川成都610209 ,四川成都610209 ,四川成都610209
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采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数。通过计算机仿真分析证明,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正,校正精度的均方根值小于等于λ/8,从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据。
The Algor software package was used to analyze the low frequency error compensation capability of the 37-cell active mirror using the finite element method. The key parameters for the manufacture of the active mirror, such as mirror thickness 8mm, driver spacing 46mm and pole tip diameter 12mm, were determined. Computer simulation analysis proves that active mirrors designed based on these parameters can effectively correct low-frequency errors, and the rms correction accuracy is less than or equal to λ / 8, which can provide a theoretical basis for the manufacture of active mirrors.
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